Vokiečių kalbos Vilniaus universitete pradėta mokyti 1797 m.
1919–1968
1919 m. Vilniaus universitete įkurta Germanistikos katedra. Po Antrojo pasaulinio karo užsienio kalbų buvo mokoma 1945 m. įkurtoje Užsienio kalbų katedroje. Jai vadovavo V. Baravykas (1945–1951), E. Mirskytė (1951–1953), E. Pareigytė (1953–1955) ir dr. A. Laučka (1955–1958). Nuo 1946 iki 1947 m. katedroje dirbo 4 docentai, 11 vyr. lektorių ir 10 lektorių, kurie germanistikos ir kitų studijų krypčių studentus mokė vokiečių kalbos.
1950 m. germanistikos studijas Vilniaus universitete baigė 10 studentų. 1956 m. Filologijos fakultete Vokiečių kalbos ir literatūros studijas pradėjo 50 studentų. Nuo 1955 iki 1966 m. vokiečių kalbą ir literatūrą buvo galima studijuoti neakivaizdiniu būdu. 1958 m. buvo įkurta Romanų-germanų filologijos katedra, kuriai 1958-1961 m. vadovavo dr. A. Laučka ir 1961-1963 m. doc. dr. R. Mironas. 1963 m. įsteigta Vokiečių kalbos katedra. Jos vadovu buvo A. Masiliūnas, o katedroje tuo metu dirbo 33 darbuotojai.
1968–2014
1968 m. pervadinus Vokiečių kalbos katedrą susikūrė Vokiečių filologijos katedra. Nuo to laiko katedroje dėstoma tik studentams germanistams. Katedrai vadovavo A. Masiliūnas (1968–1971), doc. dr. A. Tekorius (1971–1981), doc. dr. L. Petravičius (1981–1986), doc. dr. S. Lapinskas (1986–1991), doc. dr. V. Balaišis (1991–1996), doc. dr. S. Lapinskas (1996–2007), doc. dr. Vaiva Žeimantienė (2007–2012), doc. dr. Eglė Kontutytė (2012–2018). Nuo 2018 m. katedrai vadovauja doc. dr. Vaiva Žeimantienė.
Pirmoji daktaro disertaciją apgynė I. Meiksinaitė, po jos sekė V. Balaišis, A. Tekorius, L. Petravičius, I. M. Norkaitienė, E. Lakienė, G. Astramskaitė, A. Zamackas, I. Deksnytė, J. Kanytė (Bajarūnienė), S. Lapinskas, V. Vaišnoras, J. Katauskienė (Kohrs), V. Banionytė, V. Žeimantienė, D. Šileikaitė, E. Kontutytė, V. Masiulionytė, L. Plaušinaitytė, J. Daunorienė, A. Burov, D. Katinas, S. Volungevičienė (Zabarauskaitė), V. Katinienė.
2023 m. sukako 55 metai nuo Vokiečių filologijos katedros įkūrimo Vilniaus universitete. Mokslo darbų žurnale „Kalbotyra“ pasirodė straipsnis, kuriame trumpai apžvelgiama Vilniaus universiteto Vokiečių filologijos katedros istorija, pristatomi katedros dėstytojų moksliniai tyrimai ir darbai: 55 Jahre Lehrstuhl für Deutsche Philologie an der Universität Vilnius. Ein Blick zurück. Kalbotyra 76 (2023), 143-154.